描述 

MKS MultiGas^TM6030傅利叶变换红外光谱分析仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱 分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控，气体纯度和组成分 析，环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MKS MultiGas^TM6030傅利叶变换红外光谱分析仪能 分析含有高达40%水的气流，能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱，故 省出了气体筒的成本。另外，操作者也会发现MKS MultiGas^TM6030傅利叶变换红外光谱分析仪操 作简便，易于维护。 

MKS MultiGas^TM6030傅利叶变换红外光谱分析仪由保护的2102傅利叶变换红外制成分光计， 高光通量取样单元，专业分析软件及独立的定量光谱库组成。MKS MultiGas^TM6030收集高分辨率 的红外光谱与定量光谱库分析，提供绝大多数气体及水蒸气的高精度，高灵敏度测量。