半导体工艺气体检测系统，GK6030-BDT型号是一种可移动、可独立的采样系统，采用分析柜式结构，结合用户现场实际工况，采用样气抽取分析式流程设计。主要由三部份组成，氢燃料电池检测模组,进口检测模组,出口检测模组，全程高温伴热191摄氏度方式。采用西门子PLC控制，组态界面操作，具备自动进样，连续运行、间歇运行、控制联锁诸功能。加上配置了智能化分析仪表，具有自动化程度高，数据处理快速准确。测量精度高，响应时间快，其测量后的气体浓度信号可在计算机组态界面监控。主要用于半导体工艺用电子特气的质量评价，半导体工艺废气、氢燃料电池燃烧气、烟气和发动机尾气等成分的定性分析和定量研究，也可用于半导体工艺废气处理设备分解移除效率的评价和研究。

应用实例

•半导体工艺用电子特气的质量评价测量

•与安全相关领域的测量

•作为法定烟气排放量参考变量的测量

•氢燃料电池燃烧气成分定性分析

•燃烧厂中烟气排放量的定性分析

•半导体工艺废气气浓度的定量研究